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爱德华真空泵的工作原理

编辑:东莞市凯旭真空科技有限公司时间:2019-03-22

爱德华真空泵EH2600是一种机械增压泵,也叫罗茨泵,是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子,转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。
工作原理:
罗茨泵(roots-type pump) 是一种无内紧缩的真空泵,通常紧缩比很低,故高、中真空泵需求前级泵。

靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来挪动气体而完成抽气的真空泵。
罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不能够单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气。
它的构造和工作原理与罗茨鼓风机类似,工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触,间隙普通为0.1~0.8毫米;不需求用油光滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积应用率高,加工精度易于保证,故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450~4100转/分;抽气速率为30~10000升/秒(1升=10-3米3);极限真空:单级为6.5×10-2帕,双级为1×10-3帕。

罗茨泵的极限真空除取决于泵自身构造和制造精度外,还取决于前级泵的极限爱德华真空泵。为了进步泵的极限真空度,可将罗茨泵串联运用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机类似。由于转子的不时旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封锁状态,所以,在泵腔内气体没有紧缩和收缩。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一局部气体返冲到空间v0中去,使气体压强忽然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。爱德华真空泵内,有二个“8”字形的转子互相垂直地装置在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,坚持有一定的间隙,能够完成高转速运转。